由于铍材零件加工后存在较多的粉末颗粒物，且零件结构复杂，存在多个大深径比的小孔，因而造成零件微小孔隙内的多余物难以清除。而如何对铍材进行高洁净度的清洗，目前相关的研究较少。本文对铍材复杂结构零件超声波清洗工艺技术进行了研究，以提高零件清洗洁净度，从而提高惯性仪表的可靠性。

超声波清洗是利用超声波在液体中的空化作用、直进流作用和加速度作用等对液体和污物进行直接、间接的剥离，使污物层被分散、乳化和剥离，以达到清洗洁净的目的。不同超声波频率产生不同直径的空化泡，在受到外界大压力时，空化泡被压碎，产生强大的冲击力，清除被清洗物表面的多余物 。40KHZ超声波去除颗粒物示意图如图２所示，可去除2.5-3um 的颗粒。

复频超声波清洗指同时采用2种及以上的超声频率同时清洗。超声波清洗机的振源一般安装在槽体底部，槽体内装满清洗液。在工作状态下，声波从槽体底部向上传播。声波在液面处发生理想反射时，反射波与入射波传播方向相反，而振幅与频率相同。

本文在超声波清洗影响因素的分析与试验基础上，提出了系列超声波组合清洗工艺方案，系列超声波频率分别为40 、58、 132和950Khz 。试验结果证明，该方法清洗效果好，适用于铍材复杂结构件的清洗。采用复合频率清洗方法，将58/132khz为复合清洗工序，在同一个超声波清洗槽中同时实现2种频率清洗，可有效提高清洗能力。