清洗剂是影响清洗效果的主要因素，应根据清洗零件的材料特性、颗粒物类别与油污特性等确定清洗溶剂。为了提高铍材表面致密性，进行了阳极氧化处理，表面形成了一层致密的氧化膜。清洗溶剂的选择应主要考虑酸碱度、闪点和沸点等因素。

为防止清洗溶剂破坏铍材的表面氧化膜，进行了材料相容性试验。将铍材零件浸泡在溶剂中，在溶剂浸泡试验后第 7D与第15d将零件取出，在200倍显微镜下进行表 面 观 测。经 过 观 察，零件表面无颜色变化；用碳纤维棒轻微刮零件表面，无膜层脱落；采用表面电镜扫描分析仪对表面进行微观形貌检测，未发生腐蚀等问题。试验表明，铍材与溶剂无明显反应，具有较好的相容性，该溶剂适用于铍材零件清洗。

超声波清洗效果受清洗剂类别、温度和功率等多个因素影响，本文根据超声波清洗原理，对清洗剂的优选、超声频率、温度和功率等因素的影响进行了研究。